电影测量学^®F20–世界上第一款紧凑、易于使用的薄膜测量仪器

F20是同类产品中的第一款：一种使用微型光纤光谱仪来测量温度的仪器测量薄膜厚度.分析从涂覆有薄膜的表面反射的白光，以利用以下特征信号测量薄膜厚度：相干干扰利用台式个人电脑和现代图形用户界面软件的快速增长的计算能力，F20易于使用、紧凑，且价格低廉，可供以前无法准确测量胶片的用户使用。

我们介绍了Filmetrics F30，一种基于反射的沉积速率监测用于监测外延半导体晶体生长的仪器。

电影测量学F30获得研发100奖

Filmetrics F30在MOCVD或MBE外延半导体层生长期间执行原位实时沉积速率监控。使用Sandia国家实验室开发的虚拟接口技术^1.，F30连续测量样品表面反射的光以监测晶体生长速率。由于虚拟界面技术与底层结构无关，因此可以在单个晶片上顺序沉积不同成分的合金，以快速校准几种不同材料的生长速率和成分艾尔斯。

^1.布雷兰和基林，凯文。(1996). 一种利用原位正入射反射提取半导体薄膜生长速率和高温光学常数的虚拟界面方法。应用物理学杂志。786726 – 6736. 10.1063/1.360496.

Filmetrics增加了测量功能折射率（n） 及消光系数（k） 在F20和F30上。

Filmetrics F20和F30系统现在可以测量厚度和光学常数对于多层堆叠中的每个胶片。

Filmetrics F20和F30系统现在使用标准的并行端口接口，消除了对模拟接口卡的需要，并便于与客户提供的PC配合使用。

光子学光谱为薄膜测量学F20提供了卓越圈奖，承认它是世界上25个技术创新光电子产品之一。金博宝188亚洲体育app

Filmetrics F40小光斑测量仪器连接到标准显微镜，以使用光斑尺寸小至10µm.

Filmetrics F20和F30现在可以配置一个紫外光谱仪，覆盖波长从215nm到670nm，并将可精确测量的最小薄膜厚度从10nm减少到3nm。

电影计量学F50上的R-θ舞台机动制图仪器可接受直径达200mm的晶片，允许系统在用户定义的位置测量和显示薄膜厚度。

通过连续监测化学机械平坦化（CMP）过程中的反射光谱，Filmetrics F76原位CMP端点检测系统能够精确确定工艺端点。

使用高光谱成像系统，Filmetrics STMapper全晶圆成像仪器在不到5秒内绘制直径为200mm、光斑尺寸为50µm的晶片上的膜厚数据。

《R&D》杂志为电影计量学STMapper提供了一个研发100奖，将其列为本年度100种最重要的新产品之一。金博宝188亚洲体育app

1000^thFilmetrics薄膜测量仪器已装运

Filmetrics现在销售的薄膜测量仪器比任何其他制造商都多。这种高采用率得益于Filmetrics应用团队的快速、高质量支持，以及仪器的易用性和经济性。仪器软件，FILMeasure^®对于带有手动舞台和FILMapper的仪器^™对于机动舞台，已不断增强，添加了大量新功能并提高了性能。

并行端口接口被替换为USB接口在所有的电影测量仪器中，便于与较新的计算机配合使用。

改进的Vis-NIR光谱仪成为所有Filmetrics薄膜测量仪器上的标准配置光谱仪，其波长范围为400nm至1000nm，能够测量15nm至50µm厚的薄膜。

现在，所有仪器都可以配置近红外光谱仪其波长范围为950至1700nm，可测量100nm至100µm厚的薄膜。

Filmetrics推出了F20-EXR，其中包括可见光和近红外光谱仪，使Filmetrics仪器能够测量15纳米到100微米厚的薄膜。

Filmetrics F80–高速图形化晶圆薄膜厚度测量系统

Filmetrics F80是一款高速、小光斑，高光谱成像薄膜厚度测量仪器。它对直径达200mm的图案晶片进行测量。超光谱成像系统采用革命性的模式识别技术，可以根据其胶片叠层、成分和厚度区分视野中的区域。

使用高光谱成像系统，FilmetricsF42微点测绘该仪器生成像素大小为3µm的厚度图图像。

所有Filmetrics仪器上的USB接口均更新为USB2.0高速，可实现480Mbps的通信。

Filmetrics薄膜测量仪器现在可以配置一个改进的紫外-可见分光光度计，覆盖200-1100nm，便于测量1nm到40µm的薄膜。

Filmetrics F20-CP现在包括一种新的Filmetrics技术，称为自动基线^™，当探针移动到与样品接触时，可连续补偿光学系统中的变化，从而显著提高精度和稳定性。

Filmetrics F80-c是一款高通量、全自动的产品盒式到盒式图案化晶圆测量具有模式识别功能的工具，可用于直径高达300毫米的晶片。

Filmetrics介绍了F60-t台式和F60-c盒式到盒式仪器，用于测量直径达300毫米的晶圆上的橡皮布晶圆薄膜。

同时正常发病率反射率和透射率测量Filmetrics F10-VC引入了该功能，该功能还可用于精确测量吸收。

Filmetrics F10-RTA反射率/透射率/角度反射率仪器在F10-VC上增加了一个额外的光学子系统，用于测量角度的反射率。结果可以和正入射反射率和透射率数据结合起来测量薄膜的n和k，而不需要n和k模型。

Filmetrics F50-XY-510电动薄膜测绘仪具有一个X-Y平移系统，用于测量高达510mm×510mm的样品。

使用彩色编码光学设计，新的Filmetrics F70可以测量50µm到15mm厚的薄膜。

新的Filmetrics aRTie仪器同时测量反射光谱和透射光谱，包括一个40000小时的光源，并通过USB接口电缆供电。

Filmetrics F10 ARc–用于塑料透镜涂层的小型便携式仪器

Filmetrics F10 ARc专为眼科镜片涂层的测量. 该仪器能快速准确地测量眼镜和其他眼镜用塑料镜片上的减反射膜和硬涂层。F10 ARc中使用的获专利的低功率光源使系统小巧轻便，通过USB接口电缆供电。

自动波长校准现在在一些Filmetrics仪器上提供，使用集成气体放电灯以显著提高精度和稳定性。

Filmetrics F54显微斑点测绘仪使用电动R-θ台，提供自动样本测绘和测量光斑尺寸小至2.5µm.

Filmetrics SS-XY-38电动X-Y-Z样品台的X-Y行程为38mm，可选电动聚焦，可与新的或现有的仪器组合，如Filmetrics F20。

Filmetrics F57 CTM绘图仪将Filmetrics彩色编码测量技术与R-θ台相结合，用于直径达300mm的样品，可测量50µm至15mm的薄膜厚度。

激光透射光谱的精确测量弯曲样品例如，镜头可以通过Filmetrics SS Trans Curve舞台完成。

Filmetrics LS-DT2 UV-Vis-NIR光纤光源为所有功能和灯具寿命计提供了更高的可靠性、数字和基于USB的控制，设计用于与包括UV光谱仪的Filmetrics仪器配对。

Filmetrics F64-c盒式到盒式工具利用电动转台、晶片处理机器人、可选预对准器和精密光学对准机构，使用小到1µm的光斑尺寸测量图案化晶片上的薄膜。

Filmetrics-sX系列仪器，如F3 sX，可以测量厚度达3毫米的薄膜和硅晶片厚度高达1.3mm.

FilmMetrics XY10电动工作台可添加到大多数FilmMetrics仪器中，以使用测量速度为每点0.2秒. XY10可以包括可选的机动车辆自动对焦.

电影测量学加入KLA

Filmetrics于2019年3月6日加入KLA仪器集团，并成为电影测量公司，一家KLA公司188bet欧洲杯直播官网. Filmetrics系列薄膜测量仪器将KLA的台式计量能力扩展到薄膜厚度、n和k的测量。电影测量Profilm3D^®光学轮廓仪扩展了测量表面形貌的KLA仪器系列，为不需要KLA现有仪器全部功能的应用提供了新的选择。Filmetrics全球应用支持和销售办事处继续为客户需求提供快速响应。