Tencor™p - 170

Tencor™p - 170

TencoR P-170是盒式磁带分布器,其用于从几纳米到一毫米的步骤高度测量能力,用于生产环境。该系统支持步进高度,粗糙度,弓和应力的2D和3D测量,而不会缝合到200mm的扫描。Tencor P-170具有先进的模式识别算法,增强光学元件,以及用于系统之间的鲁棒性能和无缝配方可运输性的高级阶段 - 对于24x7生产环境的关键要求。

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