薄层电阻映射器
薄层电阻映射器
的Filmetrics®基于超过45年的电阻测量创新，已开发出薄板电阻测量仪器。从1975年ADE 6035电阻率测量仪的推出到Tencor Instruments、Prometrix和Filmetrics开发的技术，R50是结合了专业技术的顶点，提供了r系列片电阻测量工具。
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Fimpetrics R50-4PP.
Fimpetrics R50-4PP触点四点探针系统映射金属层厚度，薄层电阻，薄层电阻率，薄片电导和片状电导率。10数十年的测量功能和大Z范围使R50-4PP成为各种应用的理想选择。
Filmetrics R50-200-4PP也可用于容纳更大的样品尺寸。
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Fimpetrics R50-EC
FimenTrice R50-EC非接触式涡流系统映射金属层厚度，薄层电阻，薄层电阻率，薄片电导和薄片电导率。非接触式涡流薄层电阻测量非常适用于测量敏感和/或柔性导电表面上的电阻和膜厚度。
Filmetrics R50-200-EC也可用于更大的样品尺寸。
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仪器
对于行业专家，学者和其他创新者，KLA仪器提供可信赖的测量，实现了世界的突破性技术。
缺陷检查
的烛光®复合半导体和硬盘驱动器的检测系统可以帮助工程师在通信和网络、led、电源设备、传感、太阳能、光伏和数据存储等应用领域实现显著的产量和工艺改进。
纳宁德斯
KLA Instruments纳米压头组合提供了精确、可靠和可重复的测试，以在广泛的测试条件下表征材料的静态和动态力学性能。
光学分析器
profilm3d.®和Zeta.™️️光学轮廓计提供3D步高度，粗糙度和其他表面形貌测量的快速，非接触式解决方案，利用干涉仪和ZDOT™测量技术。
手写笔分析器
的Alpha-Step®, Tencor™p系列,合®手写轮廓仪可以实现高精度，2D和3D表面计量。触控笔轮廓仪测量台阶高度，粗糙度，弓和应力具有行业领先的稳定性和可靠性，为您的研发和生产计量要求。
薄膜反射计
电影化学薄膜反射仪在几秒钟内提供透明薄膜的厚度和折射率测量，具有行业领先的精度。