imicro.

微纳米压头使得测量硬涂层、薄膜和小体积材料变得容易。精确，灵活，用户友好的仪器可以执行广泛的纳米尺度机械测试，包括压痕，硬度，划痕和通用纳米尺度测试。可互换的执行器提供了大的力和位移动态范围，允许研究人员测试从软聚合物到硬金属和陶瓷材料的准确性和重复性。模块化选项可以适应各种应用:材料属性图，特定频率的测试，划痕和磨损测试，以及高温测试。immicro有一整套扩展测试选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D属性测量和Gemini 2D力传感器，可以进行摩擦学和其他两轴测量。

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产品描述

所述IMICRO采用了INFORCE 1000致动器用于执行纳米压痕和通用纳米机械测试，并且可任选地添加INFORCE 50致动器来测试较软的材料。该InView软件是一个灵活的，现代化的软件包，使纳米测试容易。所述IMICRO是一个紧凑的平台与所述高速勘验控制器和内置于外壳隔振台架上。一个广泛的材料和装置的范围进行检验，包括金属，陶瓷，复合材料，薄膜，涂层，聚合物，生物材料和凝胶。

特征

Inforce 1000致动器，用于电容位移测量和电磁力驱动，可互换尖端
可选INFORCE 50的致动器，用于测量软材料提供最大50MN法向力，和任选的双子2D力传感器用于两轴的动态测量。快速独特的软件集成的尖端校准系统，精确的端部校准
勘验高速控制器电子器件与100kHz的数据采集速率和20μs的时间常数
具有易于安装磁性样品架的XY运动系统
高刚度龙门，集成隔振
集成显微镜与数字变焦精确压痕瞄准
ISO 14577标准及测试方法
InView软件包包含RunTest, ReviewData, InFocus报告，InView大学在线培训和InView移动应用

应用程序

硬度和模量测量(Oliver-Pharr)
高速材料属性图
ISO 14577硬度测试
聚合物Tan Delta，储存和损耗模量
定量划痕和磨损试验
高温纳米压痕测试

行业

大学，研究实验室和机构
半导体产业
PVD / CVD硬涂层（DLC，TIN）
MEMS：微机电系统/纳米级通用测试
陶瓷和玻璃
金属和合金
药品
涂料和涂料
复合材料
电池和储能
汽车和航空航天

硬度和模量测量（Oliver-Pharr）

机械表征在薄膜的过程和制造中至关重要，包括汽车行业中的涂料的质量，以及在前端和后端半导体制造的过程中的过程中。

在纳米压痕仪IMICRO能够测量硬度和模量为各种各样的材料，从超柔软的凝胶到硬涂层。这些性能的高速评估使生产线上的质量控制和保证。

高速材料属性图

对于许多材料，包括复合材料，机械性能可能从一个区域变化到下一个区域。IMICRO在X和Y轴上提供100mm的样品级运动，Z轴25mm，允许在大型样本区域上测试各种样品高度。可选的纳米伯利兹地形和断层扫描软件可以快速生成任何测量的机械性能的颜色图。

ISO 14577硬度测试

IMICRO纳米茚流包括预先写入的ISO 14577试验方法，其符合ISO 14577标准的材料硬度。该测试方法自动测量并报告杨氏模量，仪器化硬度，维氏硬度和规范化的缩进工作。

聚合物Tan Delta，储存和损耗模量

IMICRO纳米茚能能够测量TAN DELTA和超软材料的储存和损耗模量，包括粘弹性聚合物。储存和损耗模量和TAN DELTA是粘弹性聚合物的重要特性，其能量被储存为弹性能量并作为热量散发。这两项度量都测量给定材料中的能量耗散。

定量划痕和磨损测试

immicro可以对各种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经过许多过程来测试这些薄膜的强度和它们与基材的附着力，如化学-机械抛光(CMP)和金属丝结合。重要的是这些材料在这些过程中抵抗塑性变形，并保持完整而不起泡从基材。理想情况下，介电材料应该具有较高的硬度和弹性模量，因为这些参数有助于确定材料在制造过程中会发生什么反应。

高温纳米压痕测试

升高温度下的纳米indentation对于在热应力下表征材料性能至关重要，特别是在热机械加工过程中定量故障机制。在机械测试期间改变样品温度，不仅可以测量热诱导的行为变化，而且还可以在纳米级上易于测试的材料的过渡可塑性的定量。

对于IMICRO的选项可添加与您的新产品，或将来。联系您的销售代表了解更多信息。

连续硬度测量（CSM）

连续刚度测量用于量化动态材料特性，例如应变率和频率诱导的效果。CSM技术涉及在压痕期间振荡探针以测量属性作为深度，力，时间或频率的函数。该选项具有恒定的应变速率实验，衡量硬度和模量作为深度或负载的函数，这是学术界和工业中最常见的测试方法。CSM还用于其他高级测量选项，包括用于存储和损耗模量测量和accufilm™独立于衬底的测量方法的ProbeDMA™方法。CSM集成到查询控制器和INView软件中，以提供易用性和数据质量。

执行50致动器

Inforce 50执行器的纳米力学测试具有高达50mn的力。专利的电磁力应用确保了稳健的测量和长期力和位移稳定性。行业领先的机械设计确保谐波运动被限制为一种自由度，从而沿着单轴控制力和位移。所述INFORCE 50致动器是与CSM，NanoBlitz，ProbeDMA，生物材料，样品加热，刮擦，磨损和ISO 14577测试选项兼容。提示在整个信息线和双子座执行器中可以互换。

双子座双轴执行器

双子两轴技术带来标准缩进性能到第二横向轴线，沿同时两个轴的CSM操作。该专利技术所提供的附加信息有助于提供新的洞察力，材料性能和失效机理。需要用于横向力和摩擦学测量的二维换能器，并且能够的泊松比，摩擦，刮擦，磨损，剪切和拓扑的系数的测量。

300°C采样加热

300°C样品加热选项允许样品放置在一个腔室中进行均匀加热，同时使用InForce 1000或InForce 50执行器进行测试。该选项包括高精度温度控制，惰性气体回填以减少氧化，冷却以去除余热。ProbeDMA, AccuFilm, NanoBlitz和CSM都与样品加热选项兼容。

Nanoblitz 3D.

NanoBlitz 3D利用InForce 50或InForce 1000驱动器和Berkovich尖端生成高e (> 3GPa)材料的纳米力学性能3D图。NanoBlitz可在每个缩进< 1s的情况下执行多达100,000个缩进(300×300阵列)，并为阵列中的每个缩进提供在指定负载下的杨氏模量(E)、硬度(H)和刚度(S)值。大量的测试可以提高统计准确性。直方图显示了多种相或物质。NanoBlitz 3D包包括可视化和数据处理功能。

Nanoblitz 4d.

NanoBlitz 4D利用Inforce 50或Inforce 1000执行器和Berkovich尖端，以产生低E / H和High-E（> 3GPA）材料的纳米力学性质的4D地图。Nanoblitz在每缩进5-10s的5-10s上执行高达10,000个凹凸（30×30阵列），并为阵列中的每个凹痕提供少量模量（e），硬度（h）和刚度（s）值。NanoBlitz 4D利用恒定的应变率法。该包包括可视化和数据处理能力。

AccuFilm™薄膜法包

Accufilm薄膜方法包是基于Hay-Crawford模型的VINIET测试方法，用于使用连续刚度测量（CSM）测量基板无关的材料特性。Accufilm校正基板对软衬底上硬膜的薄膜测量的影响，以及硬质基板上的软膜。

ProbeDMA™聚合物方法包装

聚合物包装提供测量聚合物的复杂模量作为频率的函数。该包装包括平拳尖端，粘弹性参考材料和用于评估粘弹性的试验方法。该测量技术是表征纳米级聚合物和聚合物薄膜的关键，该聚合物和聚合物膜不受传统的动态机械分析（DMA）测试仪器提供的。

生物材料的方法包

生物材料方法包提供了在1kPa的剪切模量测量生物材料复杂模量的能力，并利用连续刚度测量（CSM）。该包装包括平拳尖端和用于评估粘弹性的试验方法。该测量技术是表征小型生物材料的关键，这些生物材料不受传统的流变仪仪器提供良好的。

划痕和磨损测试方法包

划痕试验涉及常数或倾斜负载的施加在压头上，而在样品表面上以规定的速度移动。划痕试验允许许多材料如薄膜，脆性陶瓷和聚合物的表征。

databurst.

DataBulst使配备有Viniew软件和调查控制器的系统，以在速率下记录位移数据> 1kHz以测量高应变步长负载，弹出型和其他高速事件。使用“用户方法”开发选项的IMICro系统还可以修改使用DataBuRST的方法。

用户方法开发InView控制软件

Inview是一种功能强大，直观的实验脚本平台，可用于设计新颖或复杂的实验。经验丰富的用户可以使用配备独特的Inview选项的IMICro系统设置并执行几乎任何小型机械测试。

主动隔振与机架式模块化系统

可选的高性能有源隔振系统为IMICRO纳米印线提供额外的振动隔离，在其内置振动隔离之上。这种易于安装的系统提供了所有六个自由度的振动减少，不需要调整。模块化机架系统在集成架内方便地安装所有组件。

真正的测试I-V电气测量

通过VINAIK软件控制，IMICRO纳米丁内门的真正测试I-V选项利用精密电流表和电压源，通尖电源和导电尖端。该设计允许用户将特定电压施加到样本并测量尖端的电流，同时操作Inforce 50或Inforce 1000执行器。

线性光学编码器

用于immicro的线性光学编码器(LOE)选项被集成到X和Y运动工作台中，并提高了测试过程的定位精度和吞吐量。

压缩提示和校准样本

Inforce 50，Inforce 1000和Gemini执行器利用可互换的尖端。各种各样的锋利的压头可用，例如Berkovich，Cube Corner和Vickers，以及平拳，球体拳击和其他几何形状。标准参考资料和校准标准也可用于整个产品线。

硬质涂层

典型地，<5微米厚的硬涂层被施加到用于表面保护，增加的耐磨性，摩擦/润滑，耐温性，和生物相容性材料。该IMICRO系统可以精确地执行ISO标准化纳米压痕测试和测量弹性模量和涂层的硬度不脱离基底的影响。在纳米压痕仪IMICRO也能够测量划痕硬度和耐磨损性的。在高表面粗糙度的涂层的情况下，3D NanoBlitz选项可用于快速和定量评估材料特性。

半导体晶片

半导体制造商经常努力生产出的薄膜具有较高的机械完整性。KLA nanoindenters能够测量弹性模量和膜最薄的硬度的，在不脱离下面的衬底的工件。相关真实材料改变工艺参数是半导体应用是至关重要的。

陶瓷和玻璃

陶瓷和玻璃因其独特的光学、机械和电学性质而成为许多应用领域的重要材料。陶瓷和玻璃的传统机械测试(如四点弯曲)既耗时又昂贵。immicro允许快速表征小体积材料的弹性模量和硬度。划痕测试能力也非常适合于定量评估光学涂层的划痕性能。

金属和合金

金属和合金在许多行业中起着重要作用，例如汽车，航空航天，医疗和半导体。传统的金属和合金的机械测试（例如，拉伸试验）可能是耗时和昂贵的。IMICRO允许快速表征小体积材料。它还允许用户在这些属性中表征弹性模量，硬度和蠕变电阻，以及作为空间位置的函数的这些属性中的梯度。

电池与储能

电池材料的机械性能与电池的稳定性，充电容量和寿命密切相关。IMICRO纳米茚满是测试各种电池材料，从软锂从软锂测试到硬陶瓷基板。iMiCro在许多环境中提供高级测量解决方案，包括干燥室和手套箱。

研究与开发

KLA纳米印文不仅用于要求研发应用所需的精度和准确性，而且是灵活的科学仪器。无论是如何测量新型材料的机械性能，检查金属的变形机制，也是根据温度的函数分析应变率敏感性，IMICRO提供了广泛的纳米狭窄测量能力，以实现高级研究和加速发育。

制药，食品和个人护理

药品、食品和个人护理产品的机械性能与客户满意度和体验密切相关。金博宝188亚洲体育app材料的弹性模量或刚度可以与纹理和手感有关。涂层的力学性能对药物的及时传递也至关重要。微纳米压头提供定量信息，补充定性的客户反馈。

汽车和航空航天

KLA纳米印肾门允许材料的高级表征作为温度的函数，汽车和航空航天应用的关键能力。使用IMICRO的纳米凸缘技术，强度，刚度和时间依赖性机械性能全部可测量。

纳米级通用测试

在纳米压痕仪IMICRO系统能够测量纳米级机械变形和其他纳米力学性能的。纳米压痕，压缩，拉伸，蠕变，应力松弛和疲劳的测定是的IMICRO的多功能能力的例子。标准和定制的实验方法的支持。专用科学家纳米压痕组在KLA也可用于咨询和试验设计。

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聚合物Tan Delta，储存和损耗模量

定量划痕和磨损测试

高温纳米压痕测试

连续硬度测量（CSM）

执行50致动器

双子座双轴执行器

300°C采样加热

Nanoblitz 3D.

Nanoblitz 4d.

AccuFilm™薄膜法包

ProbeDMA™聚合物方法包装

生物材料的方法包

划痕和磨损测试方法包

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用户方法开发InView控制软件

主动隔振与机架式模块化系统

真正的测试I-V电气测量

线性光学编码器

压缩提示和校准样本

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