产品描述
ZetaScan提供用于显示和太阳能应用的高通量玻璃面板检测，包括玻璃上的顶部和底部颗粒、滑动、凹坑、凸起、划痕、嵌入缺陷和GaAs上的薄膜缺陷。宏缺陷和微观缺陷分类使用光学特征和缺陷属性的组合。ZetaScan检测系统的高灵敏度为工艺开发和大批量生产过程控制提供了一种性价比高的解决方案。
特性
- 检测玻璃晶圆和面板的缺陷
- 允许手动加载高达Gen2尺寸和2.5mm厚度的晶圆
- 检测颗粒、划痕、凹坑、肿块、污渍等表面缺陷
用例
- 底物质量控制
- 入厂晶片质量控制(IQC)
- 出片质量控制(IQC)
- CMP(化学机械过程)/抛光过程控制
- 晶圆洁净过程控制
- 流程监控工具
