产品描述
Candela 6300系列光学表面分析仪利用专利的多通道光学器件，结合独特的激光稳定管理技术，为边缘滚降，纹理/波兰均匀性，HDI表征和划痕和粒子检验提供强大的测量功能。检查和计量系统的前沿光学扫描技术可以在径向和圆周方向上实现全面磁盘形貌计量，并允许制造商使用单个工具来测量整个空间谱。增加激光功率，较低的噪音和新光学设计消除了对缺陷检测的溅射玻璃基板的需要，允许识别<0.1的粗糙度变化。
特征
- 提供业界最宽的空间带宽和最低的噪音地板
- 测量周向，径向粗糙度和波纹
- 可重复的计量与金属和玻璃介质上的AFM测量相关
- 提供所有磁盘形状因子的快速和全表面覆盖
- 微弱划痕，污渍和粒子检查的高灵敏度
- 创新光学表面分析(OSA)技术
- 可选择手动(6310)或全自动(6340)
用例
- 粗糙度和波纹分析
- 缺陷检查
- 划痕和山脊检查
- 粒子和染色检查
- 微波测量
选项
- 精密钻石抄写员
- 离线软件
- 大格式因素软件许可证
