缺陷检查系统
缺陷检查系统
坎德拉®缺陷检测系统检测并分类化合物半导体衬底（GaN、GaAs、InP、蓝宝石、SiC等）和硬盘驱动器上的各种关键缺陷，在生产能力方面具有很高的灵敏度。
创新时间表
自1997年推出坎德拉光学表面分析仪（OSA）以来，我们的技术专家一直在为化合物半导体和数据存储市场引入缺陷灵敏度和分类方面的关键创新。我们的检测技术为每个新产品的发布提供了性能改进，包括我们业界首创的在单个平台上结合高速表面缺陷检测和光致发光计量的获奖能力。了解更多关于坎德拉缺陷检查员丰富的创新历史。
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仪器
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纳米压头
KLA Instruments纳米压头组合提供精确、可靠和可重复的测试，以在各种测试条件下表征材料的静态和动态机械性能。
光学轮廓仪
Profilm3D®还有泽塔™️️光学轮廓仪利用干涉仪和ZDot，为三维台阶高度、粗糙度和其他表面形貌测量提供快速、非接触的解决方案™测量技术。
薄板电阻映射器
电影计量学®基于45年来电阻测量技术的创新和专业技术，已经开发出片式电阻测量仪。
触针轮廓仪
阿尔法台阶®，天科™P系列与HRP®触针轮廓仪可实现高精度、二维和三维表面计量。触针轮廓仪测量台阶高度、粗糙度、弯曲度和应力，具有业界领先的稳定性和可靠性，可满足您的研发和生产计量要求。
薄膜反射计
Filmetrics薄膜反射计以秒为单位提供透明薄膜的厚度和折射率测量，具有业界领先的精度。