复方半|MEMS |HDD制造业

复方半|MEMS |HDD制造业

KLA拥有全面的检验组合,计量和数据分析系统,以支持电力设备,RF通信,LED,光子,MEMS,CPV太阳能和显示器制造。高亮度LED常用于固态照明和汽车应用,LED设备制造商旨在瞄准积极的成本和性能改进,需要更加强调改善的过程控制和产量。同样,领先的电力设备制造商瞄准更快的开发和斜坡时间,高产品收益率和更低的设备成本,并正在实施用于表征产量限制缺陷和过程的解决方案。KLA的检查,计量和数据分析系统帮助这些制造商控制其过程并增加产量。

类别

8系列

对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

8系列

高生产率图案晶圆广场检测系统

8系列模式晶圆检测系统以非常高的吞吐量检测各种各样的缺陷类型,快速识别和解决生产过程中的问题。从最初的产品开发到批量生产,8系列为150mm、200mm或300mm的硅和非硅衬底提供性价比高的缺陷监测。最新一代8935检测器采用了新的光学技术和DesignWise和FlexPoint.精确的区域检测技术,以捕获可能导致芯片故障的关键缺陷。缺陷®AI技术能够快速、内联地分离缺陷类型,以改进缺陷发现和分类。通过这些创新,8935支持以低干扰率的高生产率捕获良率和可靠性相关缺陷,帮助前沿和遗留节点晶圆厂加快其产品的交付——可靠的和更低的成本。金博宝188亚洲体育app

想要了解更多关于i-Pat的信息®自动化,内联模筛筛选解决方案8系列?点击这里

应用程序

过程监视器,工具监控,传出质量控制(OQC)

相关产品金博宝188亚洲体育app

CIRCL:8系列检测技术也可作为CIRCL缺陷检测、计量和审查集群工具的模块,用于对晶圆的正面、背面和边缘进行全表面测量。

对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

wi - 2280

对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

wi - 2280

多基底缺陷检测和计量系统

WI-2280自动化光学检测和计量系统在各种晶片基板上检查和测量微电子器件,支持晶片级包装和用于LED,VCSEL和其他集成电路应用的后切割质量控制。它能够在FFC或箍环上将整个晶片从2到8英寸和切割的晶片上处理。通过检查和2D计量能力,WI-2280系统提供有关晶片表面质量的反馈;晶圆切割质量;并且,凸起,垫和铜柱的临界尺寸和覆盖质量。该系统采用IRIS(ICOS审查和分类软件)设计,可提供缺陷审查和重新分类,以便更快地获得率学习和改进的过程控制。

应用程序

过程监视器,传出质量控制(OQC),工具监视器

对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

Candela.®8 xxx

vcsel阵列图片由飞利浦的光子学提供

对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

Candela.®8 xxx

复合半导体材料的先进表面检测

Candela.®8720.化合物半导体材料表面检测系统能够使gan相关材料、GaAs衬底和外接外接材料的过程控制具有对关键缺陷的高灵敏度,用于生产功率器件、通信和射频器件,以及先进的led(以及即将到来的微led)。凭借其专有的光学设计和检测技术,Candela 8720可以检测和分类目前检测方法无法一致识别的亚微米缺陷,支持生产线监控产量限制缺陷。

相关产品金博宝188亚洲体育app

Candela.®8420:化合物半导体材料的表面检查。

对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

Candela.®8520.

对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

Candela.®8520.

SiC和GaN基板的缺陷检测解决方案

Candela.®8520.缺陷检测系统专为SIC和GAN基板的高级表征而设计,通常用于汽车和其他应用中的电源设备。集成的表面散射和光致发光检查技术捕获各种任务临界地形和晶体缺陷,如三角形,胡萝卜,堆叠故障和基底平面脱位。Candela 8520系统有助于衬底制造商提高质量和产量,并优化其外延生长过程。更好的基板可以提高功率装置的产量和可靠性。在这里阅读有关Candela 8520的更多信息

应用程序
传出质量控制,电源控制,供应商比较,过程监控,工具监控
对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

Candela.®71xx.

对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

Candela.®71xx.

硬盘驱动器介质和基质缺陷检查和分类系统

Candela.®71xx.Series先进的介质和基板缺陷检测和用于硬盘驱动器制造的分类系统有助于最大限度地提高产量和更低的硬盘检测成本。双光路配置能够为临界亚微米缺陷的独特缺陷签名进行分类,例如微坑,凸块,颗粒和埋地缺陷。Candela 7110配置支持手动加载基板进行检查,而Candela 7140则提供全自动盒式磁带基板载荷。

高灵敏度(HS)选项为裸玻璃和金属基板检测提供了更高的灵敏度和捕获率。

应用程序
硬盘驱动器进程和工具监控
对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

Candela.®63 xx

对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

Candela.®63 xx

硬盘驱动器介质和基板地形测量和缺陷检测系统

Candela.®63 xx基于双激光的检查系统提供硬盘驱动器基板和成品介质的表面检查。其独特的多通道光学设计能够在光滑的金属和玻璃基板上进行粗糙度和波纹计量测量。可以使用相同的平台自动检测和分类诸如粒子和划痕的缺陷。Candela 6310是一个适用于实验室和低批量生产的手动系统,而Candela 6340是全自动录音机到盒式生产环境。

应用程序
硬盘驱动器进程和工具监控
对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

Zetascan.

对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

Zetascan.

大型和不规则形状基板的高吞吐量缺陷检查

Zetascan系列高通量缺陷检测和分类系统用于显示和太阳能行业的玻璃基板、平板和其他基板。ZetaScan系列通过一个小的激光扫描点和四个同时检测通道,捕获并分类各种衬底上的关键缺陷,包括粗糙的地面,抛光的,未抛光的,不透明和透明的衬底,薄玻璃或粘结晶圆。ZetaScan系列缺陷检测仪采用多模式检测方法,在高通量下提供高缺陷灵敏度。

应用程序
玻璃晶片的缺陷检查,晶圆上的粗薄薄膜,磁盘基板/介质
对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

SensArray®过程探测™2070

对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

SensArray®过程探测™2070

原位平板温度监测系统

Process Probe™2070仪表玻璃瓦片提供了一种具有成本效益和灵活的解决方案,可靠,原位表征玻璃温度型材,适用于许多平板处理应用。采用许多小型仪表玻璃瓦而不是单个大型玻璃,处理探针2070允许热电偶传感器容易地放置在处理室内的基座上的所需位置。这种灵活的产品设计简化了LCD和其他大型玻璃面板应用的温度测量,从而实现了高精度的过程资格和优化。

应用程序
工艺开发,工艺确认,工艺工具确认
平板玻璃加工|0-600°C.
对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

klarity.®

对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

klarity.®

自动缺陷和产量数据分析

klarity.®缺陷自动缺陷分析和数据管理系统通过实时偏移识别帮助Fabs实现更快的收益率学习循环。klarity.®klarity缺陷的SSA(空间签名分析)分析模块提供了表明过程问题的自动检测和分类。klarity.®ACE XP先进的良率分析系统帮助晶圆厂捕获、保留和分享良率学习在晶圆厂内部和跨晶圆厂,以加速良率。Klarity系统利用直观的决策流分析,允许工程师轻松创建定制分析,支持批次错位、评审取样、缺陷源分析、SPC设置和管理以及漂移通知等应用。Klarity Defect、Klarity SSA和Klarity ACE XP形成了全工厂的良率解决方案,自动将缺陷检查、分类和审查数据减少到相关的根本原因和良率分析信息。Klarity数据帮助集成电路、封装、复合半固态硬盘和硬盘制造商更快地采取纠正措施,从而加速产量和更好的上市时间。

应用程序

缺陷数据分析,晶圆处置,工艺和工具偏移鉴定,空间签名分析,产量分析,产量预测

对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

Profiler Portfolio.

对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

Profiler Portfolio.

光学和手写笔分析器

KLA提供一系列触控笔和光学分析器,支持半导体IC,电力设备,LED,光子,MEMS,CPV Solar,HDD和显示器制造的表面计量测量。请访问我们分析器网站更多细节。

相关产品金博宝188亚洲体育app

Tencor P-17

Tencor P-170

®-260

microxam - 800

Zeta-20.

ζ- 300

Zeta-388.

对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

纳米机械测试器组合

对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

纳米机械测试器组合

用于复合半导体制造的纳米机械测试仪

KLA的纳米机械测试仪支持微尺寸和纳米级机械测试,可获得半导体和MEMS行业。请访问我们纳米力学测试人员现场更多细节。

对此产品感兴趣或有疑问?
联系我们

准备开始?

联系我们

你确定吗?

您已选择查看由Google翻译翻译的本网站。
KLA中国的内容具有改进的翻译内容。

你想参观克拉中国吗?


您已选择查看由谷歌翻译翻译的此网站。
kla中国的内容与英语网站相同并改进了翻译。

你想访问解放军中国吗?

如果您是当前的KLA员工,请通过KLA Intranet访问我的访问权限。

出口