기판제조
기판제조
解放军의기판제조포트폴리오는기판제조업체들이전체웨이퍼제조공정에걸쳐품질을관리하도록지원하는결함검사및리뷰,계측및데이터관리시스템을포함합니다。전문웨이퍼검사및리뷰툴은출고웨이퍼인증의주요일환으로써생산중에결함을검출,계산및폐기하고웨이퍼표면품질을평가합니다。웨이퍼기하구조는정밀하게제어된웨이퍼형상측정으로웨이퍼형태가완전히평평하고두께가균일하도록합니다。데이터분석및관리시스템은수율손실로이어질수있는기판제조공정사고를선제적으로파악합니다。解放军의기판제조시스템은공정개발,생산모니터링과실리콘,프라임실리콘,SOI,사파이어,유리,砷化镓,碳化硅、氮化镓,输入,GaSb,通用电气,LiTaO3.，林博3.및에피택셜웨이퍼등등다양한기판기판유형최종품질확인을지원지원
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패턴이없는웨이퍼결함결함사시스템
Surfscan®SP7.XP.패턴없는웨이퍼퍼사시스템시스템은첨단로직과메모리소자성능과신뢰성에에을결함과표면표면품질식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별식별이시스템은설비，공정，재료，euv리소그래피에사용되는를포함포함품질검증을ic，oem，oem，oem，재료및기판제조를지원지원。Surfscan SP7XP.은DUV레이저와최적화된검사모드를사용함으로써첨단노드연구개발을위한최고의감도를제공하고,대량생산을지원하기위한빠른처리속도를지원합니다。위상대조채널(PCC)과수직입사(NI)를비롯한상호보완적인검출모드는어떤공정도거치지않은웨이퍼,매끄러운박막과거친박막,감광막와리소그래피적층에서나타나는특유의결함들을검출합니다。혁신적인머신러닝알고리즘을사용하는영상기반결함분류(基于图像的缺陷分类,IBC)는결함원인확인에걸리는시간을단축하며,Z7™분류분류엔진3D NAND및후막（厚膜）에에응용을지원합니다。
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애플리케이션.
공정품질검증,설비품질검증,설비모니터링,웨이퍼출고검사,웨이퍼수입검사,EUV감광막및스캐너품질검증,공정문제원인분석관련제품
surfserver™:호환Surfscan시스템사이에레시피를옮겨사용하는것을편리하게해서外事局내의설비군관리를간소화하는데도움이되는레시피관리시스템
Surfscan SP7：1xnm디자인디자인노드의의집적，기판，장비장비를위한duv（深紫外线）감도와빠른처리속도를갖춘이없는없는이퍼표면표면사시스템
Surfscan SP5XP.:1xnm미만디자인노드의집적，기판，장비제조를위한duv（深紫外线）감도와빠른처리속도를패턴이없는없는이퍼퍼표면사시스템
Surfscan SP5：2 x / 1 xnm디자인노드의집적회로,기판,장비제조를위한DUV(深紫外)감도와빠른처리속도를갖춘패턴이없는웨이퍼표면검사시스템
Surfscan SP3:2xnm디자인노드의집적，기판，장비제조를위한duv（深紫外线）감도와빠른처리속도를패턴이없는없는이퍼퍼사시스템
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전자빔웨이퍼결함결함리뷰및분류
EDR7380™전자전자（EBEAM）웨이퍼결함리뷰및이퍼결함결함분류시스템은고해상도이미지를를검출하여하여하여표시대한결함분포분포정확표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시표시다양한전자광학전용인렌즈를보유한edr7380는섬세한euv litho층，높은종횡비트렌치층및명암비층을한공정단계걸쳐결함시각화지원걸쳐결함를지원합니다。고유의simul-6™기술기술정확한결함원인및한이탈점한를를위해위해테스트에서완전관심결함파레토를생성생성생성한관심파레토를생성생성생성광대역광학패턴웨이퍼검사기를위한IAS™와베어웨이퍼검사기를위한OPTISENS™등의연결성기능을보유한eDR7380는IC및웨이퍼제조과정중빠른수율학습을위한KLA검사기에독특한연결고리를제공합니다。
애플리케이션.
결함이미징,자동인라인결함분류및성능관리,베어웨이퍼출고및입고품질제어,웨이퍼분류,热点검출,결함검출,EUV打扮,공정윈도우검출,공정윈도우인증,斜角엣지리뷰。관련제품
eDR7280：≤16nm디자인노드ic개발및생산위한위한5세대전자빔inmovering광학을탑재한전자빔이퍼결함결함리뷰및분류분류분류분류을탑재분류분류
edr.®은kla기업이등록한상표입니다
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웨이퍼제조를위한데이터관리
FabVision®이터관리소프트웨어는이퍼및및（衬底）제조업체를위한실시간이터관리관리기능을제공제공제공데관리기능기능을제공제공FabVision은제품품질，검사및및계측정보를적으로모니터링하고보고하며관리운영관리를개선하기위해웨이퍼제조공정사고고，일일보고와선별데이터는는세계세계적으로자동전송되어운영을보다효율효율할할수수수할수수통합통합이스를통해제품이력및품질에관한사항항을빠르게분석한후답변제공할수수실시간이퍼생산생산를보유한한한수율손실로이어질수있는이퍼제조공정공정이탈점사전전에검출위해위해，엔지니어링엔지니어링및운영상에필요한터터생성생성생성위해데를를생성
애플리케이션.
수율분석,웨이퍼결함데이터관리,웨이퍼제조공정모니터링,출고웨이퍼품질관리상세한상세한제품상담을을원하시나？
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컴파운드반도체소재를위한첨단표면검사
Candela.®8720年컴파운드반도체소재표면검사시스템은전력소자,통신및射频소자와첨단领导(향후microLED도포함)생산에중대한영향을미칠수있는결함에대해고감도의GaN——관련소재,砷化镓기판과에피공정제어를가능하게합니다。고유의광학설계와검출기술을탑재한烛光8720은현재검사방법으로는일관되게파악하지못하는초미세결함을검출및분류하여수율을제약하는결함에대한생산라인모니터링을지원합니다。
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광발광계측및표면결함검출을위한통합솔루션
전력소자제조업체를위한坎德拉®CS920 SiC기판및에피택시(epi)웨이퍼표면결함검사시스템은전체표면고감도결함검사및정확한공정피드백을제공합니다。해당에피웨이퍼표면결함검출시스템은산업내에서SiC에피및실리콘상의GaN공정에대한에피택셜성장수율을최적화하고SiC기판품질을개선하도록지원합니다。CS920은표면아래의기초면전위및전체에피스태킹오류를포함한수율에중대한영향을주는결함을검출할수있는단일검사플랫폼내광발광및표면결함검출기술을통합하여원인파악시간을줄이고수율을상당히개선합니다。
애플리케이션.
공정모니터,툴모니터,입고품질관리,출고품질관리상세한상세한제품상담을을원하시나？
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하드디스크드라이브미디어및기판결함검사및분류시스템
하드디스크드라이브제조를위한烛光®71 xx시리즈첨단미디어및기판결함검출및분류시스템은수율을극대화하고하드디스크검사비용을낮춥니다。듀얼광학경로구성은마이크로피트,범프,이물및매립된결함등의중대한영향을미칠수있는미세결함에대한고유의결함시그니처분류를가능하게합니다。烛光7110구성은검사를위한기판의수동로딩을지원하며烛光7140은완전히자동화된카세트-투카세트기판로딩을제공합니다。
고민감（HS）옵션은유리원판및기판기판사에
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하드디스크드라이브공정공정및툴상세한상세한제품상담을을원하시나？
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하드디스크드라이브미디어및기판형상측정및결함검사시스템
Candela.®63xx듀얼레이저기반기반사시스템은하드디스크기판및완성에표면표면사를를제공。고유고유의멀티채널광학설계를통해매끄러운금속과유리에대한조도（거칠기）및및계측측장이가능합니다。이물및및스크래치등의결함은동일한플랫폼사용하여하여자동검출및분류할수Candela 6310은실험실과소량생산적합한수동시스템이며坎德拉6340은생산환경위한자동 - 투 - 카세트시스템입니다。