“航行者”号®1035:深度学习、速度和灵敏度的独特结合

2021年9月21日

芯片制造是一个千锤百炼的过程。每一步都需要极高的精度和控制,以有效和快速地从裸硅到最终的功能芯片。我们的新“航行者”号®1035激光扫描图形晶片检验员通过监控斜坡和批量生产的关键工艺步骤,帮助指导芯片制造。通过在线发现和标记关键缺陷,Voyager 1035检查器有助于确保工艺步骤保持在成功的芯片生产的道路上。

“航行者”号®1035型激光扫描晶片检测系统

作为一种用于高级逻辑和内存芯片制造的内联缺陷监测器,Voyager 1035提供了灵敏度、速度和拥有成本的最佳平衡。对于关键过程监控应用,Voyager 1035采用了独特的架构、深度学习算法和几种先进技术,以高吞吐量产生行业最佳的激光扫描灵敏度。这确保晶圆厂工程师及时收到可采取措施的缺陷数据,以采取必要的纠正措施,以保持芯片生产的跟踪。

航海家1035 -速度和灵敏度在CoO首屈一指

DefectWise®深度学习技术使其能够快速、容易地分离利益和妨害的真实缺陷,同时提高对DOI的敏感性

航海家1035的标志性特征是“缺陷”®深度学习技术。DefectWise提供快速、内联的分离感兴趣的缺陷从模式噪声和讨厌的缺陷,从而提高灵敏度和提高关键缺陷的捕获率。通过产生准确的缺陷分类结果,DefectWise减少了工厂工程师理解和纠正工艺偏差所需的时间。

Voyager 1035驱动灵敏度和生产率的其他关键功能包括:

  • 行业独特的倾斜照明和镜头外设计减少检查噪音,改善捕获缺陷
  • 行业最大的整体立体角收集产生更多的信号到关键缺陷,同时也捕获信号从更多的缺陷类型
  • 三个分离的通道使数据采集策略能够导致强信号噪声缺陷
没有信号/差距
缺陷检测
*模拟扫描电镜图片
  • 新型传感器QE(量子效率)提高了30%,提高了通量和灵敏度,可用于EUV光刻的精细光刻剂的低剂量检测,如开发后检测(ADI)和光电池监测(PCM)
  • 新的像素尺寸选项比上一代Voyager提高了>20%的分辨率,提高了对非常小的、与产量相关的缺陷类型的灵敏度

Voyager 1035 -新的传感器技术与新的像素尺寸一起工作,以提高灵敏度和分辨率,从而提高微小间隙缺陷的捕获率。

有关Voyager 1035如何支持芯片制造之旅的更多信息,请访问产品页面。


标签:检查产品发布“航行者”号

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