今天KLA仪器宣布烛台^®8520电力设备应用缺陷检测系统。它是烛台的继承人^®CS920系统，第一个将关键地形和晶体缺陷的检测和分类集成到一个平台上的检测系统。坎德拉8520是其前身的两倍多的速度，有助于加快产量的提高，为快速增长的电力设备市场。

Candela 8520晶圆检测系统具有关闭关键缺陷检测间隙的能力，如裸晶片上的堆叠故障和外延生长后的基面位错。该系统还具有刀具缺陷评审、模具分级和轮廓映射等分析工具。它可以生成一份全面的检查报告，帮助过程工程师执行准确的纠正措施。

Candela 8520结合了五种互补检测技术，可结合使用，对微管和微坑、胡萝卜和基面位错、堆积故障和台阶聚束等多个缺陷进行精细区分，同时还捕捉到了严重影响SiC衬底和SiC外延过程控制的大地形缺陷。

在单个平台上结合暗场、亮场、斜率、相位和光致发光技术，提高了吞吐量，为功率器件制造商提供了高价值。

为了保持高性能和生产力，Candela 8520检查系统由KLA全球综合服务网络.

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